PX series
O2 Analyzer
센서 타입
전위차형 지르코니아 센서 / 히터일체형
치수
18mmΦ X 111mmL
설치 방식
PX-NW : 플랜지 타입 (NW25 or NW40)
PX-S : 스크류 타입 (3/8" PF)
PX-S : 스크류 타입 (3/8" PF)
측정가스온도
< 200℃
측정범위
10-25 atm ≤ Po2 ≤ 1 atm (100%)
직선성
[측정값의 ± 1 % 이내] 또는 [측정값의 ± 0.5 ppm 이내] 중 큰 값
반복성
[측정값의 ± 0.5 % 이내] 또는 [측정값의 ± 0.5 ppm 이내] 중 큰 값
응답속도
< 10 sec (측정가스유량 0.5L/min 일 경우)
Warming up 시간
< 6 min (3 m 규격 케이블 사용시)
O2 Analyzer
PX series
Application
반도체 제조설비
N2 reflow 오븐
연료전지 시스템
글로브 박스
진공 설비
Feature
히터일체형 산소센서 적용
설비 내부에 직접 삽입 방식으로 설치(KF 플랜지, 3/8″ PF)
모든 범위 산소농도 표시가능 (%, ppm, log scale)
경보 출력 기능(상 / 하한 설정가능)
두 종류의 외부 출력 제공 : RS-485 / 4-20mA
Display
Specification
Sensor unit
| 모델 | PX-NW | PX-S |
| 센서방식 | 전위차형 지르코니아 센서 / 히터일체형 | |
| 치수 | 18 mmΦ X 111 mmL | |
| 설치 방 | 플랜지 타입 (NW25 or NW40) | 스크류 타입 (3/8＂ PF) |
| 측정 가스 온도 | < 200℃ | |
| 측정 범위 | 10-25 atm ≤ Po2 ≤ 1 atm (100%) | |
| 압력 | 10-3 Pa ~ 200 kPa | |
| 직선성(Linearity) | [측정값의 ± 1 % 이내] 또는 [측정값의 ± 0.5 ppm 이내] 중 큰 값 | |
| 반복성(Repeatability) | [측정값의 ± 0.5 % 이내] 또는 [측정값의 ± 0.5 ppm 이내] 중 큰 값 | |
| 응답속도 | < 10 sec (측정가스유량 0.5 L/min 일 경우) | |
| Warming up 시간 | < 6 min (3 m 규격 케이블 사용시) | |
Control unit
| 모델 | CPX-1000 (패널마운트) | CPX-1000W (월마운트) | |
| 디스플레이 | 2.4＂ 터치스크린 | ||
| 표시 단위 | %, ppm, log | ||
| 시용 환경 | -20 ~ 50 ℃, RH 80 % (No condensation) | ||
| 출력 | 시리얼 통신 | RS-485 | |
| 아날로그 | 4-20 mA (load 500Ω max) | ||
| 경보 (제어출력) | 사용범위 상/하한 설정범위 초과시 relay A 접점 출력 | ||
| 치수 | 144.4 mmW X 72.4 mmH X 142 mmD | 150 mmW X 150 mmH X 47 mmD | |
| 중량 | 0.46 kg | 0.51 kg | |
| 전원 | DC 24V, < 20 W | ||
Appearance
